全自动晶圆盒清洗机（Fully Automated FOUP Cleaner）

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半自动晶圆盒/晶舟盒清洗机（Semi-auto FOUP/Cassette/POD Cleaner）

半自动晶圆盒/晶舟盒清洗机（Semi-auto FOUP/Cassette/POD Cleaner）

适用场景：在密闭的空间用DIW对Foup进行清洗和干燥
设备特点：
1、清洗对象：12寸 FOUP
2、设备主要构成：清洗腔、真空腔、自动充N2、上下料口、6轴机械手等机构组成
3、清洗能力：24只 FOUP/小时（依配置的清洗腔中真空腔数量而定）
4、干进干出；
5、可与AMHS对接、可人工上料；
6、FOUP本体和Cover自动分离和清洗；
7、Chamber具备DIW喷淋、甩干以及真空+IR干燥功能；
8、可预设多条Recipe,操作简洁；
9、选配SECS/GEM接口；
10、实时记录生产数据，多种数据分析功能；
11、可实现工件数据追溯，具有过点信息、状态监控、故障汇总、订单下发等功能
12、设备外形尺寸：L 4000mm X W 3600mm X H 3300mm

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全自动晶圆盒清洗机（Fully Automated FOUP Cleaner）